流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器容易受這幾個方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。倘若液體中含有懸浮顆粒物，抽濕過程可能會留下固體顆粒，從而導(dǎo)致質(zhì)量流量計或質(zhì)量流量控制器內(nèi)留有殘渣?？梢缘乜刂茪怏w的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，不用其他設(shè)備?？梢缘臏y量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降,即壓差。高壓改變了振動管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減??；氣體流經(jīng)振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。

二、溫度影響

用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進行補償。

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如何提高流量控制器的準確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實用準確度的措施為：

1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù)，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機械應(yīng)力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。