多晶硅鑄錠爐中，多個組件是需要石墨材料。特別是加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨，以及加熱器中使用的隔熱材料- 高純碳氈隔熱材料，是目前重要的配套材料。

加熱器中使用的加熱材料- 高純石墨材料在多晶硅鑄錠爐設計上，為使硅料熔融，必須采用合適的加熱方式。從加熱的效果而言，感應加熱和輻射加熱均可以達到所需的溫度。一般多采用輻射加熱方式。它可以對結晶過程的熱量傳遞進行精準控制，易于在坩堝內部形成垂直的溫度梯度。

半導體的發(fā)展與石墨材料在半導體工業(yè)中的應用是分不開的。在半導體工業(yè)中，直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)大量采用高純石墨材料。還在半導體硅片加工（包括區(qū)熔、外延、外形加工等）中作為輔助工具、部件；在半導體硅片用多晶硅材料的生產中為輔助工具、部件。電子工程用石墨制品，首先是實現(xiàn)在半導體工業(yè)中得到應用。進入21世紀，光伏產業(yè)得到了迅速的發(fā)展，太陽能電池用多晶硅錠材料在產量與市場上都出現(xiàn)了突飛猛進的增大，這也給石墨制品在光伏產業(yè)領域提供了一個發(fā)展前景廣闊的新市場。太陽能電池硅片所需要的重要原材料鑄錠多晶硅，在其生產裝置鑄錠爐中開始大量的采用高純、好的石墨材料。

石墨電解氧化法-該法又叫陽極氧化法，是以硫酸或硫酸與少量添加劑的混合液作為電解液， 石墨置于電解液中，通過對兩個電極通電的方法進行陽極的氧化，即依靠陽極 氧化作用以及石墨在電化學場中的電位能克服石墨層間的范氏結合能，使插層 離子進入層間，形成層間化合物。

它的工作原理主要是在外電場的作用下，在石墨周圍聚集大量的離子，在石墨層內外形成很大的濃度差，借助外力的作用在石墨層間形成氧化反應，生成硫酸，該法的對氧化劑的濃度要求不嚴格，可用濃度較低的氧 化劑溶液浸泡，產生的有害氣體較少，電解液以及水溶液可循環(huán)使用，減輕環(huán)境污染。