質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量控制器的常見問題

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實際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設(shè)某臺MFC是用N2標(biāo)定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

氣體質(zhì)量流量控制器的顯示方式

 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動，人機(jī)界面，具有靈敏的反應(yīng)速度、易于交流、堅固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前比較便捷、簡單、自然的一種人機(jī)交互方式,用戶只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標(biāo)或文字就能操作,給人們的生活帶來了很大的方便。

該產(chǎn)品呈現(xiàn)出多元化的趨勢，針對不同的用戶、不同的使用環(huán)境而出現(xiàn)了分體式、組合式、臺式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強(qiáng)大、功耗低，可內(nèi)置鋰電池或外置鋰電池，保證長時間的運(yùn)行。