急救措施

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。

吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。

消防措施危險特性：若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開裂和bao 的危險。有害燃燒產(chǎn)物：氧化硫、氟化氫。滅火方法：該品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。六氟化硫防護(hù)是保護(hù)工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設(shè)備還是穿著六氟化硫防護(hù)服都屬于六氟化硫防護(hù)的內(nèi)容。

     為何會發(fā)生六氟化硫氣體中i毒？包裝方法：鋼質(zhì)氣瓶運(yùn)輸注意事項：鐵路運(yùn)輸時需經(jīng)生物試驗證明合格，根據(jù)合格證托運(yùn)。由于技術(shù)問題等原因，有些SF6氣體產(chǎn)品的純度不達(dá)標(biāo)，出廠時就會帶有一些有害雜質(zhì)。還有一種情況是在處理SF6氣體設(shè)備時，人員操作不當(dāng)，導(dǎo)致SF6電力設(shè)備泄 i露，有i毒有害物質(zhì)泄 i露，導(dǎo)致六氟化硫氣體中i毒。當(dāng)然也有部分企業(yè)在定期檢查檢漏時偷工減料，導(dǎo)致設(shè)備故障，從而發(fā)生六氟化硫氣體中i毒。

六氟化硫防護(hù)之設(shè)備安全防護(hù)措施：

 除了對人員進(jìn)行保護(hù)，六氟化硫防護(hù)也包含設(shè)備的防護(hù)保養(yǎng)。SF6高壓電氣設(shè)備中的SF6需要定期更換，以免不純的SF6影響工作效率，對于金屬和絕緣零部件也要定期清洗。當(dāng)然清洗出的吸附劑、金屬粉末需要經(jīng)過中和處理之后進(jìn)行深埋，不得直接排放到外部環(huán)境中。對于SF6電氣設(shè)備存在的車間還應(yīng)定期進(jìn)行檢漏測試，同時搞好排風(fēng)換氣系統(tǒng)，保證車間內(nèi)的環(huán)境安全。1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。