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動(dòng)量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇>唧w可分為下述幾種類型。(1) 分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:① 牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動(dòng)量傳輸泵。②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。當(dāng)真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí),可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過(guò)濾器。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③ 復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來(lái)的一種復(fù)合式分子真空泵。
氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
液環(huán)泵:雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在中國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)l藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%,僅次于干泵,由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì),縮小體積,減輕重量,提高l效率,降低能耗。旋轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。