服務(wù)于IC產(chǎn)業(yè)的MEMS探卡

片級芯片測試在IC制造工藝中已經(jīng)成為不可或缺的一部分,發(fā)揮著重要的作用,而測試探卡在圓片級芯片測試過程中起著關(guān)鍵的信號通路的作用。分析指出由于芯片管腳密度的不斷增加以及在高頻電路中應(yīng)用的需要,傳統(tǒng)的組裝式探卡將不能適應(yīng)未來的測試要求;和傳統(tǒng)探卡的組裝方法相比,MEMS技術(shù)顯然更適應(yīng)當(dāng)今的IC技術(shù)。綜述了針對MEMS探卡不同的應(yīng)用前景所提出的多種技術(shù)方案,特別介紹了傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為滿足IC圓片級測試的要求,針對管腳線排布型待測器件的新型過孔互連式懸臂梁芯片和針對管腳面排布型待測器件的Ni探針陣列結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制造。為了對這種輕微的非線性進(jìn)行補(bǔ)償，大多數(shù)設(shè)計(jì)人員都會(huì)對測得的電阻值進(jìn)行數(shù)字化處理，并使用微控制器內(nèi)的查找表以便應(yīng)用校正因子。

深圳瑞泰威科技有限公司是國內(nèi)IC電子元器件的代理銷售企業(yè)，專業(yè)從事各類驅(qū)動(dòng)IC、存儲(chǔ)IC、傳感器IC、觸摸IC銷售，品類齊全，具備上百個(gè)型號。與國內(nèi)外的東芝、恩智浦、安森美、全宇昕、上海晶準(zhǔn)等均穩(wěn)定合作，保證產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定供貨。自公司成立以來，飛速發(fā)展，產(chǎn)品已涵蓋了工控類IC、光通信類IC、無線通信IC、消費(fèi)類IC等行業(yè)。這種寬溫度范圍(大約-250℃至750℃)內(nèi)的可復(fù)驗(yàn)性和穩(wěn)定性使RTD在應(yīng)用(包括在管道和大容器內(nèi)測量液體或氣體的溫度)中極為有用。

傳感器的作用（一）

1、CPU 主轉(zhuǎn)速傳感器

作用：用于向CPU反饋發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速信號。CPU接收到主轉(zhuǎn)速傳感器的反饋信號后，與程序內(nèi)部設(shè)定的轉(zhuǎn)速進(jìn)行比對，以判斷發(fā)動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速是否正常，發(fā)動(dòng)機(jī)負(fù)荷狀態(tài)是否正常，并結(jié)合其它反饋信號做出對發(fā)動(dòng)機(jī)及液壓系統(tǒng)的相關(guān)控制。異常情況下將控制液壓系統(tǒng)減馬力或控制發(fā)動(dòng)機(jī)停機(jī)。遠(yuǎn)端溫度二極管溫度傳感器采用外部連接成PN結(jié)的晶體管作為檢測元件，包括使用一個(gè)或多個(gè)外部晶體管測量溫度所需的全部信號調(diào)理電路。

2、共軌壓力傳感器

作用：用于向ECU反饋共軌腔內(nèi)高壓柴油壓力信號。由于共軌柴油控制系統(tǒng)采用的高壓噴射，噴射壓力較一般的直噴發(fā)動(dòng)機(jī)高10倍以上。所以，ECU將實(shí)時(shí)監(jiān)控共軌腔內(nèi)的柴油壓力，并根據(jù)反饋的壓力信號和其它反饋信號進(jìn)行判斷，對噴射器電磁閥、EGR電磁閥、SCV閥等控制單元發(fā)出指令信號。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。

3、流量傳感器

作用：汽車中的流量傳感器大多測發(fā)動(dòng)機(jī)空氣流量和燃料流量，它能將流量轉(zhuǎn)換成電信號。伴隨著科技進(jìn)步和信息技術(shù)的發(fā)展，除了靈敏度之外，人們也對磁傳感器的尺寸、穩(wěn)定性、功耗、制備工藝的簡單化等提出了越來越高的要求。其中空氣流量傳感器應(yīng)用更多，主要用于監(jiān)測e69da5e6ba90e799bee5baa6e79fa5e9819331333366303734發(fā)動(dòng)機(jī)的燃燒條件、起動(dòng)、點(diǎn)火等，并為計(jì)算供油量提供依據(jù)。

按原理分為體積型、質(zhì)量型流量計(jì)，按結(jié)構(gòu)分為熱膜式、熱線式、翼片式、卡門旋渦式流量計(jì)。翼片式流量計(jì)測量精度低且要溫度補(bǔ)償；熱線式和熱膜式測量精度高，無需溫度補(bǔ)償?？偟膩碚f，熱膜式流量計(jì)因?yàn)檩^小的體積，更受工業(yè)化生產(chǎn)的青睞。

CCD傳感器優(yōu)點(diǎn)

高解析度：像點(diǎn)的大小為μm級，可感測及識別精細(xì)物體，進(jìn)步影像質(zhì)量。從1寸、1/2寸、2/3寸、1/4寸到推出的1/9寸，像素?cái)?shù)目從10多萬增加到400～500萬像素；

低雜訊高敏感度：CCD具有很低的讀出雜訊和暗電流雜訊，因此進(jìn)步了信噪比（SNR），同時(shí)又具高敏感度，很低光度的入射光也能偵測到，其訊號不會(huì)被掩蓋，使CCD的應(yīng)用較不受天候拘束；

動(dòng)態(tài)范圍廣：同時(shí)偵測及分辨強(qiáng)光和弱光，進(jìn)步系統(tǒng)環(huán)境的運(yùn)用范圍，不因亮度差異大而構(gòu)成信號反差現(xiàn)象。

良好的線性特性曲線：入射光源強(qiáng)度和輸出訊號大小成良好的正比關(guān)系，物體資訊不致?lián)p失，降低信號補(bǔ)償處置本錢；

高光子轉(zhuǎn)換效率：很微小的入射光映照都能被記載下來，若配合影像增強(qiáng)管及投光器，即使在暗夜遠(yuǎn)處的景物仍然還可以偵測得到；