由于選用物理氣相堆積工藝可大幅度進步刀具的切削性能，人們在競相開發(fā)、高可靠性設備的一同，也對其運用范疇的擴展，尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類刀具中的運用進行了愈加深化的研究。

化學氣相堆積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體，憑仗氣相作用或基體表面上的化學反應，在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法，首要包含常壓化學氣相堆積、低壓化學氣相堆積和兼有CVD和PVD兩者特點的等離子化學氣相堆積等。

與鏈條式傳送機構(gòu)相比，該機構(gòu)為剛性傳送，不存在齒合不準確問題同時，由于需要的過渡空間小，可以節(jié)約真空室之間閥門的開關(guān)時間、進一步減少不同真空室之間的氣氛互串。因而極大的提高了鍍膜工藝穩(wěn)定可靠性、成品率，降低能耗和成本等。

隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，各類真空鍍膜機也逐漸出現(xiàn)，不管是哪種真空鍍膜機，薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響?，F(xiàn)在，我們就以磁濺射真空鍍膜機來分析成膜不均勻的因素。

光學鍍膜：減反射膜是應用廣、產(chǎn)量大的一種光學鍍膜，因此，它至今仍是光學薄膜技術(shù)中重要的研究課題，研究的重點是尋找新材料，設計新膜系,改進淀積工藝,使之用少的層數(shù)，簡單、穩(wěn)定的工藝，獲得盡可能高的成品率，達到理想的效果。對激光薄膜來說，減反射膜是激光損傷的薄弱環(huán)節(jié)，如何提高它的破壞強度，也是人們關(guān)心的問題之一。

反射膜：它的功能是增加光學表面的反射率。反射膜一般可分為兩大類，一類是金屬反射膜，一類是全電介質(zhì)反射膜。此外，還有把兩者結(jié)合起來的金屬電介質(zhì)反射膜。