【廣告】
電弧或弧光放電的基本概念:電弧或弧光放電是氣體放電的一種方法。氣體放電在性質上和外觀上是各式各樣的。在正常狀況下,氣體有杰出的電氣絕緣功用。但當在氣體空位的兩頭加上足夠大的電場時,就可以致使電流通過氣體。這種現象稱為放電。放電現象與氣體的種類和壓力、電極的資料和幾何形狀、南北極間的間隔以及加在空位兩頭的電壓等要素有關。例如在正常狀況下,給氣體空位兩頭的電極加壓到必定程度時,一般空氣中電子在電場效果下高速運動,與氣體分子磕碰后產生較多的電子和離子,真空電鍍設備重生的電子和離子又同中性原子磕碰,產生更多的電子和離子,這時,氣體開始發(fā)光,兩電極變?yōu)榛馃?,電流增大。這種性質上的改動稱為氣體空位的擊穿,其所需的電壓稱為擊穿電壓。 這時,因為電場的支撐,放電并不中止,故稱為自我按捺放電。電弧則是氣體自我按捺放電的一種方法。電弧具有電流密度大和陰極電位下降的特征。
真空電鍍生產廠家在真空中制備膜層,包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。蒸發(fā)鍍膜通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。這種方法早由M.法拉第于1857年提出,現代已成為常用鍍膜技術之一蒸發(fā)物質如金屬、化合物等置于坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質蒸發(fā)。蒸發(fā)物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時間(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關。對于大面積鍍膜,常采用旋轉基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0.1~0.2電子伏。