熱分解工藝一般分為直燃(TO)、蓄熱燃燒(RTO)、催化燃燒(CO)、蓄熱催化燃燒(RCO)4種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩不同組合，主要可以用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度＞3.5g/m3的中高濃度廢氣。

1. CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機物與O2的反應活化能，使得有機物可以在250～350℃較低的溫度就能充分氧化生成CO2和H2O，屬無焰燃燒，高溫氧化氣通過換熱器與新進廢氣間接換熱后排掉，熱量利用率一般≤75%，常用于處理吸附劑再生脫附出來的高濃廢氣。

2. RCO燃燒方式與CO相同，換熱方式與RTO相同，由于投資堪比RTO，能處理的廢氣種類受催化劑影響又比RTO少，所以很少企業(yè)采用RCO工藝。熱分解以RTO和CO的應用例子較多，如果用于處理吸附脫附的濃縮氣，兩者差別不大，但若直接處理中高濃度廢氣時有很大區(qū)別，需要企業(yè)認真對待。

和光催化燃燒系統(tǒng)的空氣處理設備,反應空速通常指體積空速(GHSV),它反映了催化劑的處理能力:反應空速指的是處理的氣體量的催化劑在條件下單位時間內單位體積,單位是立方米/ (m3催化劑?h),可以簡化為h。

廢氣處理設備中催化劑的性能與的含量、粒徑和分散度有關。在理想狀態(tài)下，高度分散。在這種情況下，以非常小的顆粒(幾納米)的載體存在，被蕞大限度的利用。此時，催化劑的處理能力與的含量呈正相關。

廢氣處理催化燃燒設備RCO主要由活性炭吸附箱、阻火器、熱交換器、催化反應床，風機這幾個主要部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。通常催化燃燒設備在選型時，要注明廢氣的成份、濃度及出口溫度，設備安裝場所無腐蝕性氣體，并且要有良好的防雨措施等。

催化燃燒用的是表面具有和金屬氧化物的催化劑，將有機污染物的廢氣在催化劑鉑、鈀的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后催化劑本身的性質并不發(fā)生變化。