氫氣檢漏法的工藝和方法

批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注，達(dá)到收到壓力后控制器會(huì)給出提示，這時(shí)操作人員即可進(jìn)行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。注意不可以直接將氣體排在檢漏位置，因?yàn)檫@樣會(huì)造成本底污染，使得后面的檢漏無法進(jìn)行。

工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時(shí)，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫 95%氮的示蹤氣體，用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。氫氮混和氣檢漏法已在國內(nèi)外廣泛應(yīng)用于制冷、空調(diào)、汽車零部件、發(fā)動(dòng)機(jī)、變速箱、減速機(jī)、閥門、藥品包裝、飛機(jī)油箱油路及其他密封件或管路檢漏。由于氫氣比空氣輕，所以泄漏出來的氫氣都會(huì)沿著管道等部件往上跑，并且可以穿透保溫材料，使用者可以在部件較高位置進(jìn)行檢漏，比采用其他方式查找漏點(diǎn)要容易得多，成功率也高很多。

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真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測的目的。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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真空檢漏

超聲波法

該方法實(shí)際上是聽音法的一種。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時(shí)，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動(dòng)，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。

檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動(dòng)探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí)，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。

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如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng)，可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強(qiáng)期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強(qiáng)上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。