EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對(duì)下降，同時(shí)有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛(ài)德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉(zhuǎn)高真空泵 愛(ài)德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng)。EM系列真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、噪音小、低功耗、低工作溫度的特點(diǎn)。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長(zhǎng)維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開(kāi)發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。愛(ài)德華70#真空泵油特性：真空泵油具的氧化穩(wěn)定性，長(zhǎng)期在高溫條件下與空氣、樹(shù)脂、化學(xué)原料等直接接觸亦不易變質(zhì)，減少有害漆膜和油垢的形成，提供較長(zhǎng)的換油周期。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。目前開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

愛(ài)德華70#真空泵油應(yīng)用：

   真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等使用，亦可用于各種擴(kuò)散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學(xué)等領(lǐng)域的真空泵使用。

供應(yīng)英國(guó)愛(ài)德華19號(hào)真空泵油，質(zhì)量保證規(guī)格4L /208L現(xiàn)貨，愛(ài)德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號(hào)選用油號(hào)對(duì)用，因?yàn)檎婵毡糜驼扯炔灰粯印?

真空泵泵體振動(dòng)大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動(dòng)。含氧成分高的工況，旭選用特殊的真空泵油，如合成油等當(dāng)沒(méi)有合適的專用油，可選擇漢族要質(zhì)量指標(biāo)（黏度）相近的真空泵油替代，當(dāng)規(guī)定的規(guī)定的真空泵油到貨后，應(yīng)馬上更換替代油品。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過(guò)量所致)，其對(duì)葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動(dòng)，同時(shí)增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過(guò)觀察上海真空泵的排水量來(lái)判斷水環(huán)的工作情況。