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潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間1級:塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關重要。此外,液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。
相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。1級:主要應用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著高、、尖方向發(fā)展,對凈化車間的依賴度也越來越高。而隨著凈化技術的發(fā)展,建設凈化車間的技術含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產領域,凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間
10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。