相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。1級：主要應(yīng)用于電子工業(yè)，這是目前對凈化工程要求的環(huán)境，集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn)，對潔凈室的要求越來越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米，也會使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著高、、尖方向發(fā)展，對凈化車間的依賴度也越來越高。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展，建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高，非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域，凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間

送回風(fēng)管道質(zhì)量控制

送回風(fēng)系統(tǒng)管道的密封，是為防止不潔凈的空氣進(jìn)入風(fēng)管，阻止了風(fēng)管內(nèi)受污染的空氣滲透出去，從而可滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和延長高1效過濾器使用時(shí)間。施工中應(yīng)重點(diǎn)控制管道加工、管道施工和設(shè)備的安裝質(zhì)量。

管道加工時(shí)應(yīng)著重做好風(fēng)管設(shè)備的清潔和管道加工過程中的密封措施。管道加工時(shí)應(yīng)采用鍍鋅鋼板制作，滿足平整、光滑、堅(jiān)固及耐侵蝕的要求;消聲器內(nèi) 充填的消聲材料應(yīng)不產(chǎn)塵、不掉渣(纖維)、不吸潮、無污染，不得用松散材料，纖維材料應(yīng)為氈式材料，外覆可以防止纖維穿透的包材。不應(yīng)采用泡沫塑料和離心 玻璃棉.

潔凈車間工程中不可缺少的重要指標(biāo)參數(shù)

1．潔凈度：潔凈車間潔凈度是潔凈室的基本的技術(shù)指標(biāo)，其單位是：單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個(gè)數(shù)。微電子行業(yè)對于潔凈度的要求，其次是光電子行業(yè)。

2．濕度：潔凈車間濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求。濕度過大會使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報(bào)廢。濕度過低又會使許多物質(zhì)脫水變形，失去原有的功能。

無塵凈化車間工程的潔凈度受哪些因素影響？

墻體工程對凈化工程潔凈度的影響：內(nèi)外墻抹灰，由于抹灰是在砌體與混凝土梁柱的組合體上進(jìn)行，界面處易引起裂縫。另外還有墻體本身的密實(shí)性，外墻灰縫不密實(shí)時(shí)會引起浸水，使墻面下雨時(shí)可能泛潮、長霉;穿墻孔洞封堵不嚴(yán)會影響氣密性;灰縫不嚴(yán)實(shí)還會引起墻體開裂;防腐木磚等處理不當(dāng)會引起松動、腐爛等。