潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間1級：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時，就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。

工程質(zhì)量控制要點

1.選擇經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)的施工隊伍

潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等專業(yè)，施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識，否則，施工質(zhì)量很難得到保障。

2.潔凈室內(nèi)密封控制重點

潔凈室內(nèi)密封控制重點內(nèi)容是圍護結(jié)構(gòu)的密封施工質(zhì)量，如板材與板材之間應(yīng)均勻涂密封膠，達到嚴(yán)密不漏風(fēng);潔凈室內(nèi)的嵌壁器械柜與墻體之間、壁板上安裝 的插座、開關(guān)、煙感探測器、照明箱體及燈帶、觀片燈等都需要用密封膠進行密封，且器械柜中的各種管道和箱體之間也都必須采用可靠和有效的密封措施。

無塵凈化工程通風(fēng)除塵方式：

無塵凈化工程如何有效地消除空氣中的有害物，設(shè)計合理的通風(fēng)除塵裝置，一直是本專業(yè)工作者所研究的課題。下面以中型機床廠油漆車間為例，根據(jù)機床油漆車間的特點確定設(shè)計方案。機床油漆車間建筑空間高大，加工件除銹、刷漆、磨膩子、噴漆等都在車間內(nèi)進行；油漆工件有大有小，大的五噸重以上的整體機床，小的五公斤以下的零件；車間上空裝設(shè)有大型吊車。