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凈化工程在設(shè)計(jì)時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復(fù),、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產(chǎn)品工序要求的用室外,還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互獨(dú)立,凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下,與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。
??空調(diào)機(jī)房的位置,其位置宜在潔凈室的側(cè)面,這不但可以節(jié)能,也有利于風(fēng)道的布置,并使氣流組織更加合理,同時,可以節(jié)省工程費(fèi)用。在潔凈車間技術(shù)發(fā)展中,它與許多行業(yè)和學(xué)科密不可分,具有自己的特點(diǎn)。我們必須學(xué)習(xí)和吸收各行業(yè)、各學(xué)科的成就、經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)勢。善于根據(jù)自身特點(diǎn),充分發(fā)揮和積極調(diào)動各領(lǐng)域的科技人員。工業(yè)潔凈室:以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。
工業(yè)潔凈室適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。潔凈車間技術(shù)的興起,使電子、食品、精細(xì)化產(chǎn)業(yè)的凈化車間技術(shù),得到了進(jìn)一步的提升。一般生物潔凈室:主要控制微生物(細(xì)菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。