氟系清洗劑主要有HCFC(含氫氟氯化碳)、HFC(含氫碳氟化物)、HFE(氫氟醚)、PFC(全氟化碳)等。其中HFC，HFE，PFC本身不具有清洗力，需要和其它化合物組合后才能使用。該類清洗劑具有與CFC-113接近的清洗性能，穩(wěn)定。低毒。不燃。安全可靠，但是通常價格昂貴。HCFC對臭氧層有一定的影響，大量使用的有HCFC-141B、HCFC-225。該特性保證了實際應(yīng)用中可快速地從基材表面去除中可快速地從基材表面去除污染物殘留。屬于過渡性替代品，終還要被禁用;HFC和HFE類清洗劑過于穩(wěn)定。在大氣中的壽命高達數(shù)千年甚至幾萬年。是非常厲害的溫室氣體。在<;京都議定書>;正式生效以后，可能也要被限制使用。

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早期的水基清洗劑主要是一些堿性較強的無機堿或無機鹽，如氫氧l化鈉、碳酸鈉、硅酸鹽、磷酸鹽等。這類清洗劑由于成分單一、堿性強，清洗工藝簡單，存在很大的局限性，目前應(yīng)用已經(jīng)不多。

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