質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

MFC質(zhì)量流量控制簡介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。

氣體質(zhì)量流量控制器的原理

體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件，其中一個檢測溫度，另一個作為加熱器。這兩個元件和流量計內(nèi)的電路組成一個溫控系統(tǒng)，該溫控系統(tǒng)保持溫度檢測元件和加熱器之間的溫度值恒定。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系，來反映氣體的流量。

氣體質(zhì)量流量控制器的顯示方式

 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動，人機(jī)界面，具有靈敏的反應(yīng)速度、易于交流、堅固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點,是目前比較便捷、簡單、自然的一種人機(jī)交互方式,用戶只需用手指輕輕一點顯示屏上的圖標(biāo)或文字就能操作,給人們的生活帶來了很大的方便。

該產(chǎn)品呈現(xiàn)出多元化的趨勢，針對不同的用戶、不同的使用環(huán)境而出現(xiàn)了分體式、組合式、臺式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強(qiáng)大、功耗低，可內(nèi)置鋰電池或外置鋰電池，保證長時間的運行。