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光刻膠市場(chǎng)
全球光刻膠市場(chǎng)擴(kuò)增,對(duì)光刻膠的總需求不斷提升。據(jù)估計(jì),2015年國際光刻膠市場(chǎng)達(dá)73.6億美元,其中PCB光刻膠占比24.5%,LCD光刻膠占26.6%,半導(dǎo)體光刻膠占比24.1%。2010年到2015年期間,國際光刻膠市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率約為5.8%;據(jù)中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)數(shù)據(jù),2015年,PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠的國際市場(chǎng)增速均在5%左右。在下游產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)下,江瀚咨詢預(yù)計(jì)國際光刻膠市場(chǎng)規(guī)模在2022年可能突破100億美元。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國產(chǎn)化就遙遙無期。
在光刻膠的生產(chǎn)上,我國主要生產(chǎn)PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小, 2015年據(jù)統(tǒng)計(jì)我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,其中中低端PCB光刻膠產(chǎn)值占比為94.4%,半導(dǎo)體和LCD光刻膠分分別占比1.6%和2.7%,嚴(yán)重依賴進(jìn)口。五、曝光在這一步中,將使用特定波長(zhǎng)的光對(duì)覆蓋襯底的光刻膠進(jìn)行選擇性地照射。
縱觀全球市場(chǎng),光刻膠專用化學(xué)品生產(chǎn)壁壘高,國產(chǎn)化需求強(qiáng)烈。 化學(xué)結(jié)構(gòu)特殊、保密性強(qiáng)、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、品質(zhì)要求苛刻,生產(chǎn)、檢測(cè)、評(píng)價(jià)設(shè)備投資大,技術(shù)需要長(zhǎng)期積累。
至今光刻膠專用化學(xué)品仍主要被被日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國杜邦、美國futurrex、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。
芯片光刻的流程詳解(二)
所謂光刻,根據(jù)維基百科的定義,這是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個(gè)重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、SOS中的藍(lán)寶石。下游發(fā)展趨勢(shì)光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。
光刻的基本原理是利用光致抗蝕劑(或稱光刻膠)感光后因光化學(xué)反應(yīng)而形成耐蝕性的特點(diǎn),將掩模板上的圖形刻制到被加工表面上。
NR77-20000PYNR75 1000HP光刻膠價(jià)格
光刻膠存儲(chǔ)條件及操作防護(hù)
光刻膠是一種可燃液體,儲(chǔ)存條件應(yīng)符合對(duì)應(yīng)的法規(guī),不要與強(qiáng)氧化劑混合,存放在通風(fēng)良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個(gè)人防護(hù)
眼睛:佩戴化學(xué)飛濺護(hù)目鏡。
皮膚:戴上適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護(hù)服防止皮膚暴露。
呼吸器:無論何時(shí)在工作環(huán)境下呼吸保護(hù)必須遵循中國職業(yè)安全健康管理局標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定和ANSI美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)Z88.2的相關(guān)要求,或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護(hù)EN 149的標(biāo)準(zhǔn)。