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多線切割機(jī)
近年來(lái),由于國(guó)家的重視,將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)課題列入國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng),另外,國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個(gè)巨大的商機(jī),大力投入人力物力開(kāi)展艱苦的研制開(kāi)發(fā),先以模仿為主,逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新,研制出有自身知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多線切割機(jī)。但樹(shù)脂金剛石線的工藝復(fù)雜,目前主要依靠進(jìn)口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應(yīng)用。
鄭州元素工具以技術(shù)為導(dǎo)向,擁有多項(xiàng)專(zhuān)利技術(shù),積極與各科研院所,企事業(yè)單位及高校以各種方式合作,代表行業(yè)先進(jìn)科研水平。歡迎各行業(yè)前來(lái)咨詢合作。
國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截?cái)?、開(kāi)方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金鋼線切割專(zhuān)用設(shè)備
目前,行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行金鋼線切割技術(shù)升級(jí)改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設(shè)備基礎(chǔ)上,通過(guò)對(duì)設(shè)備內(nèi)部軟硬件進(jìn)行升級(jí)改造,從而滿足金鋼線切割工藝。
2.改造方案是直接采購(gòu)金鋼線切割專(zhuān)用設(shè)備。
基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對(duì)切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設(shè)備在不進(jìn)行改造的前提下,不能使用金剛線切割。