OLED有機(jī)無(wú)機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

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OLED有機(jī)無(wú)機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)的用途 ：

適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作?？慑冎菩Ч校浩胀婂兞撩?、啞面（半啞、全?。?、工藝電鍍拉絲、雨滴、五彩等。與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實(shí)驗(yàn)室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵的超純環(huán)境中，PVD與Glove box硬件無(wú)縫對(duì)接，操控融合一體，廣泛應(yīng)用于有機(jī)、無(wú)機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能電池、OLED等研究領(lǐng)域

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準(zhǔn)無(wú)油高真空系統(tǒng)，機(jī)架電控一體化設(shè)計(jì)，整體布局緊湊合理，充分考慮人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的真空室結(jié)構(gòu)。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。在熱裂解過(guò)程中裂解溫度絲毫的改變都將直接影響裂解產(chǎn)物，造成色譜圖不具有可比性。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽(yáng)能電池、有機(jī)EL、LED顯示管研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。

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300D三源有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

主要用途：

特別適合OPV/鈣鈦礦/無(wú)機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng)、樣品臺(tái)系統(tǒng)、 真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、膜厚測(cè)試 系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標(biāo)：

極限真空度6.7×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7PaL/S； 恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.6×10 Pa（短時(shí)間暴露 大氣并充干燥氮?dú)夂箝_(kāi)始抽氣）

樣品臺(tái)：尺寸為4英寸平面樣品；

蒸發(fā)源：3套

4套擋板系統(tǒng)：擋板共有3套，動(dòng)密封手動(dòng)控制；

氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器1路

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測(cè)量范圍0-999999?

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)

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