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發(fā)布時(shí)間:2021-04-22 10:09  






       建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。普通玻璃能透過(guò)絕大部分太陽(yáng)光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽(yáng)光線的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過(guò)室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來(lái)越不能滿足人們的要求。而陽(yáng)光控制膜和低輻射膜正好能彌補(bǔ)了普通玻璃在這一方面的不足。

       生活中我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過(guò)派瑞林鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。金黃色的是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN 涂層。TiN是代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。黑色的是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。鈷銅色的是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。



       與化學(xué)吸附自限制過(guò)程不同,順次反應(yīng)自限制原子層沉積過(guò)程是通過(guò)活性前驅(qū)體物質(zhì)與活性基體材料表面化學(xué)反應(yīng)來(lái)驅(qū)動(dòng)的。這樣得到的沉積薄膜是由于前驅(qū)體與基體材料間的化學(xué)反應(yīng)形成的。圖a和b分別給出了這兩種自限制反應(yīng)過(guò)程的示意圖。由圖可知,化學(xué)吸附自限制過(guò)程的是由吸附前驅(qū)體1(ML2)與前驅(qū)體2(AN2)直接反應(yīng)生成MA原子層(薄膜構(gòu)成),主要反應(yīng)可以以方程式⑴表示。對(duì)于順次反應(yīng)自限制過(guò)程首先是活化劑(AN)活化基體材料表面;然后注入的前驅(qū)體1(ML2)在活化的基體材料表面反應(yīng)形成吸附中間體(AML),這可以用反應(yīng)方程式⑵表示。反應(yīng)⑵隨著活化劑AN的反應(yīng)消耗而自動(dòng)終止,具有自限制性。當(dāng)沉積反應(yīng)前驅(qū)體2(AN2)注入反應(yīng)器后,就會(huì)與上述的吸附中間體反應(yīng)并生成沉積原子層。


       原子層沉積是在一個(gè)加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種,化學(xué)吸附的過(guò)程直至表面飽和時(shí)就自動(dòng)終止,適當(dāng)?shù)倪^(guò)程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。

       目前可以沉積的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金屬,碳化物,復(fù)合結(jié)構(gòu),硫化物,納米薄層等。 中空納米管,隧道勢(shì)壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結(jié)構(gòu),中空納米碗,存儲(chǔ)硅點(diǎn)涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內(nèi)部的涂層,納米線的涂層。




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