科學(xué)院科技戰(zhàn)略咨詢研究院與國(guó)家納米科學(xué)中心聯(lián)合發(fā)布《納米研究前沿分析報(bào)告》。報(bào)告采用內(nèi)容分析、文獻(xiàn)計(jì)量和領(lǐng)域分析相結(jié)合的方法，通過(guò)對(duì)比分析美國(guó)、英國(guó)、法國(guó)、德國(guó)、俄羅斯、歐盟、日本、韓國(guó)、印度、澳大利亞以及我國(guó)的納米技術(shù)研發(fā)計(jì)劃，發(fā)現(xiàn)各國(guó)對(duì)納米技術(shù)的信心普遍增強(qiáng)，投資力度普遍加大，科研人員數(shù)量和相關(guān)企業(yè)數(shù)均大幅增加；將納米技術(shù)列入促進(jìn)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和解決重大問(wèn)題的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，在能源和生物等領(lǐng)域尤其受到重視；納米技術(shù)研究邁向新階段，由單一的納米材料制備和功能調(diào)控轉(zhuǎn)向納米技術(shù)的應(yīng)用和商業(yè)化；通過(guò)公共研發(fā)平臺(tái)、產(chǎn)業(yè)園區(qū)等方式，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作及與其他領(lǐng)域的融合，縮短從前沿研究到產(chǎn)業(yè)化的時(shí)間；開(kāi)展EHS（環(huán)境、健康、安全）和ELSI（限制、社會(huì)課題）研究以及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范（ISO、IEC）的制定；重視納米技術(shù)的基礎(chǔ)教育和高等教育。美國(guó)Brown&Sharp公司的Bravo-NT測(cè)量機(jī)可在汽車(chē)生產(chǎn)線上對(duì)車(chē)身尺寸實(shí)施在線測(cè)量并充分滿足汽車(chē)生產(chǎn)線對(duì)測(cè)量節(jié)拍、測(cè)量精度和測(cè)量可靠性的要求。報(bào)告顯示，我國(guó)在納米科技領(lǐng)域已形成一批達(dá)到世界領(lǐng)跑水平的優(yōu)勢(shì)研究方向和團(tuán)隊(duì)。

　提高分辨力一直是光刻技術(shù)發(fā)展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，縮短波長(zhǎng)是提高分辨力的有效手段。每次更短波長(zhǎng)光刻的應(yīng)用，都促使集成電路性能得到極大提升。

　光電所采用三角法測(cè)量，Z向位移轉(zhuǎn)化為標(biāo)記光柵與檢測(cè)光柵橫向位移ΔX，通過(guò)兩光路的信號(hào)比對(duì)橫向位移量ΔX進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)檢焦。數(shù)字化測(cè)量?jī)x器與機(jī)床集成進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，組成數(shù)字化加工系統(tǒng)：數(shù)控集成誤差、工件毛坯安裝誤差及其環(huán)境誤差的軟件補(bǔ)償技術(shù)得到進(jìn)一步推廣應(yīng)用。該方法的兩光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相同，兩信號(hào)相位相差，利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)的檢焦精度。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。

光電式位移傳感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法進(jìn)行測(cè)量，對(duì)被測(cè)物體材質(zhì)沒(méi)有任何要求，主要影響為環(huán)境光強(qiáng)和被測(cè)面是否平整。只要選擇恰當(dāng)?shù)牟ㄩL(zhǎng)，或者說(shuō)頻率，激光就可以使特定頻率的等離子體激元沿著間隙來(lái)回振動(dòng)或起振，如同撥動(dòng)吉他弦產(chǎn)生的混響。電容式傳感器ZNX實(shí)際的基本包括了一個(gè)接收qiTx與一個(gè)發(fā)射qiRx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。在接收qi與發(fā)射qi走線之間會(huì)形成一個(gè)電場(chǎng)。電容傳感器卻可以探測(cè)與傳感器電極特性不同的導(dǎo)體和盡緣體。當(dāng)有物體靠近時(shí)，電極的電場(chǎng)就會(huì)發(fā)生改變。從而感應(yīng)出物體的位移變化量。

納米測(cè)量技術(shù)是利用改制的掃描隧道顯微鏡進(jìn)行微形貌測(cè)量，這個(gè)技術(shù)已成功的應(yīng)用于石墨表面和生物樣本的納米級(jí)測(cè)量。