由于超精密加工的精度等級(jí)和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測(cè)手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線(xiàn)性的。在精密超精密加工和測(cè)量中，對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測(cè)量誤差比加工誤差高一個(gè)數(shù)量級(jí)。目前，超精密測(cè)量?jī)x正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測(cè)量元件；美國(guó)HP、zygo、英國(guó)Taylor等公司的測(cè)量?jī)x器均可以滿(mǎn)足納米測(cè)量的需求。