利用新納米技術(shù)開發(fā)的功能金屬氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film metal-Oxides Materials，具有優(yōu)良的電磁傳導、物理化學和機械性能，可廣泛應(yīng)用于節(jié)能照明、顯示電子、化合物檢測、柔性透明和氣體傳感等領(lǐng)域，具有開啟后硅基半導體電子新時代的巨大潛力。但(QCM)的準確性是有限的，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個成員國德國（總協(xié)調(diào)）、英國、意大利、比利時、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術(shù)平臺（ORAMA ETP）。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系（PPP）的同時，將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應(yīng)用?！?

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣，要達到預期的真空度很難的。

1. 房間隔缺損封堵器：派瑞林作為涂層置于傳統(tǒng)的鎳鈦合金封堵器表面，這種涂層超薄同形性好、耐腐蝕、與人體組織及血液良好相容，它不僅提供了惰性、生物相容的隔離層，還可有效的防止外界的化學品、水分和體液的侵蝕，同時增加了封堵器表面的干潤性和絕緣性能，并可防止鎳離子析出對細胞組織的損害。鍍膜是用物理或化學的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質(zhì)膜，或鍍一層金屬膜，目的是改變材料表面的反射和透射特性。

2. 壓力傳感器——敏感的電子器件如血壓傳感器，只需沉積少量Parylene就能充分絕緣，而且少量保護涂層不會明顯改變這些器件的操作。