真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。

鍍膜制造需要部分耗材1.SIO2顆粒或環(huán)狀(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根據(jù)機(jī)臺(tái)配置選用。2.TIO2顆粒。3.晶振片F(xiàn)iltex 6MHZ或INFICON6MHZ。4.監(jiān)控片BK7 Φ142*80*1.8mm,需要根據(jù)機(jī)臺(tái)配置選用。5.銅坩堝,需要根據(jù)機(jī)臺(tái)配置選用。6.鋁箔厚度0.05mm*寬610mm。7.電子槍燈絲,需要根據(jù)機(jī)臺(tái)配置選用。氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5，五氧化二鈮Nb2O5，五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3，氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。8.離子源,需要根據(jù)機(jī)臺(tái)配置選用耗材。

多功能化學(xué)氣相沉積加工生產(chǎn)故障是每個(gè)多功能化學(xué)氣相沉積企業(yè)都會(huì)遇到的問題，排除故障是多功能化學(xué)氣相沉積技術(shù)人員的重要職責(zé)。多功能化學(xué)氣相沉積實(shí)踐出真知，PVD鍍膜生產(chǎn)的實(shí)踐性很強(qiáng)。要在調(diào)控PVD鍍膜生產(chǎn)的全過程中做到遇障不驚，PVD鍍膜的途徑就是在生產(chǎn)實(shí)踐中摸爬滾打、堅(jiān)韌實(shí)干善于思考，不斷探索和積累等。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系（PPP）的同時(shí)，將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應(yīng)用。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，為了避免加工過程中造成的不良，真空鍍加工廠家基本上可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。東莞拉奇納米科技有限公司,是將派瑞林(parylene)高分子材料裂解為納米分子再進(jìn)行產(chǎn)品表面的真空鍍膜處理。

對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面，不能在大氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。真空鍍膜加工?duì)于 高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。?傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器，Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無，且具有防潮功能。