通常，人們常用百分濃度來(lái)轟示氣體的純度，即所謂用幾個(gè)“9”字的表示法。例如，某種氣體濃度為99．9％，表示含有0.1% 的雜質(zhì)(即雜質(zhì)含量為1000ppm)。按通常的概念，顯然，濃度為99.995％的氣體比99．99％的氣體更純，人們使用起來(lái)似乎能更放心。但是，如果在選擇純度時(shí)限于這種考慮，則不論對(duì)科研或生產(chǎn)都將有不利的影響。如果只作這樣的考慮，顯然忽視了兩個(gè)主要因素，即高純氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)氣體的價(jià)格和所含雜質(zhì)的危害性?！?

獲得7個(gè)“9”以上的超高純氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)氣體，現(xiàn)已相當(dāng)困難，除在實(shí)驗(yàn)室中能提供一部分外，在一般工業(yè)生產(chǎn)中難以大量提供。因此，從經(jīng)濟(jì)上來(lái)說(shuō)，單純追求“9”字?jǐn)?shù)目的純氣體，除了在科研中還能有條件地接受之外，在一般生產(chǎn)上是根本無(wú)法接受的。

我們應(yīng)該從氣體中所含雜質(zhì)的濃度和該雜質(zhì)對(duì)本工藝的危害性角度出發(fā)來(lái)選擇使用高純氣體。這是因?yàn)槟壳耙箽怏w中的雜質(zhì)總量降到lppm以下雖然是困難的，但對(duì)將單項(xiàng)有害雜質(zhì)降到l×10-9或更低的水平還是可能的。按目前的工藝水平，硅中雜質(zhì)總含量不會(huì)低于10-8(1ppm)的水平，但是，對(duì)其中有危害的電活性雜質(zhì)磷、硼等的單項(xiàng)控制，巳達(dá)1×10-8 ～l×10-10 。(即O.1～O.O1ppb)的水平。

氬氣是如何制取的呢？

可以采用空氣分離提取氬氣，使用即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬，經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬，高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。

氬氣在工業(yè)生產(chǎn)中的作用

氬氣主要是用于燈泡充氣和對(duì)不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接。還用于鋼鐵、鋁、鈦和鋯的冶煉中。放電時(shí)氬發(fā)出紫色輝光，又用于照明技術(shù)和填充日光燈、光電管、照明管等。

在釀酒的過(guò)程中，氬氣可作為啤酒桶里的填充物，以避免啤酒桶里的原料被氧化成乙算。熱處理工藝也用于代替氮?dú)夂桶睔?，效果更是超過(guò)氮?dú)夂桶睔猓讳P鋼熱處理時(shí)采用氬氣保護(hù)折彎效果更好不易斷裂。