直接吸附法：有機廢氣經(jīng)活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加。在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。采用的吸附型活性炭在工業(yè)方面的應用主要涉及為尾氣吸附和有害氣體吸附，大多采用的為柱狀活性炭，其中木質柱狀活性炭吸附效果較好，被廣泛采用，逐漸取代了舊有的煤質活性炭吸附的方式。

吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經(jīng)加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣處理。在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現(xiàn)象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態(tài)污染物，氣固吸附。催化燃燒法：把廢氣加熱經(jīng)催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣。

廢氣處理設備，主要是指運用不同工藝技術，通過回收或去除、減少排放尾氣的有害成分，達到保護環(huán)境、凈化空氣的一種環(huán)保設備，讓我們的環(huán)境不受到污染。一切工業(yè)廢氣處理設備功用不是全部都行的，處理廢氣的針對性極強。因而，有些廢氣中含有顆粒物、鹵素廢氣、重金屬等化合物，對工業(yè)廢氣處理設備均有攪擾，乃至損壞處理效果。在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。