特種氣體應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國(guó)特種氣體經(jīng)過(guò)30余年的發(fā)展, 無(wú)論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿(mǎn)足了市場(chǎng)的需求。電子特種氣體種類(lèi)多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。自80年代1開(kāi)始，我國(guó)的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類(lèi)純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問(wèn)世，其品種數(shù)目已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相近。

 隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō)，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿(mǎn)足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。

  特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō)，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，僅2016年，中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)較好的地位。

 目前，國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國(guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國(guó)內(nèi)銷(xiāo)售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有專(zhuān)用氣體倉(cāng)庫(kù)貯存。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽(yáng)光直射, 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。