閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵，它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵（圖）。這種泵不消耗氦氣、操作簡(jiǎn)便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級(jí)冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K,用來(lái)冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體;二級(jí)冷板溫度為10～20K，用來(lái)冷凝氮、氧等氣體。在二級(jí)冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴康谋缺砻娣e為500～2500米2/克，在低溫下對(duì)氦有很強(qiáng)的吸附能力。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn) ，立式結(jié)構(gòu)：適于埋裝在地下，不會(huì)受電動(dòng)機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

低溫液體泵主要分離心泵和柱塞泵，離心泵流量大、壓力較低，柱塞泵流量小、壓力高。制氧廠應(yīng)用較廣，主要用于：帶液氧吸附器或上下塔分開(kāi)流程中的循環(huán)液氧泵；無(wú)氫制流程中的循環(huán)粗液泵(粗塔太高還需液空泵)；內(nèi)壓縮流程中的產(chǎn)品液氧、液氮、液泵(一般流量較低，用柱塞泵。)；灌裝沖瓶泵(柱塞泵)；槽車(chē)沖裝泵；調(diào)峰供氣泵等。

為了盡量減少Hq或Hf的損失，在液體泵配管上特別要注意以下幾點(diǎn)(1)進(jìn)口管必須盡可能地絕熱。(2)在閥門(mén)、管件、管道的固定處，即在液體可能沸騰的地方固定撐腳，應(yīng)采用絕熱板隔離，以防冷損。(3)在兩個(gè)閥門(mén)之間的液體管路上必須裝上安全閥，以免管路閥關(guān)閉時(shí)殘留液體引起超壓。(4)在泵的進(jìn)口管上需增設(shè)一段波紋管(波紋管的有效圈數(shù)5～10圈)或軟管及過(guò)濾器，以保持管路系統(tǒng)的撓性和液體內(nèi)的雜質(zhì)不進(jìn)入泵體內(nèi)。