送風(fēng)量大

潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。四、中涂：待玻纖層樹(shù)脂固化后，再用磨機(jī)磨去突起的毛刺，然后清掃、除塵，再將調(diào)配好的中涂料用鏝刀平鏝在玻纖層上。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房?jī)?nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。

凈化廠房檢測(cè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的采用原則

1.      強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是可以選用的標(biāo)準(zhǔn)

強(qiáng)制性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)等同于國(guó)家的法規(guī)，應(yīng)該嚴(yán)格地遵守執(zhí)行。違反強(qiáng)制性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)屬于。強(qiáng)制性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中不僅有強(qiáng)制性的條文，還有非強(qiáng)制性的條文。非強(qiáng)制性的條文等同于推薦國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

2.推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是可以選用的標(biāo)準(zhǔn)

推薦性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)可以選用，也可以不用。然而在沒(méi)有約定的或者沒(méi)有強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的情況下，推薦性的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)也具有法律效力，應(yīng)該遵守執(zhí)行。也可以根據(jù)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)判案

3.國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是的標(biāo)準(zhǔn)

 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體現(xiàn)著國(guó)家的和主權(quán)?！?0%），加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。首先，它體現(xiàn)著國(guó)家的意志，屬于技術(shù)法規(guī)，應(yīng)該遵守和執(zhí)行。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)不允許違反國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，但其技術(shù)要求可以高于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)不允許違反行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)，更不允許違反國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，但其技術(shù)要求可以高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)然也可以高于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

 人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。5～1小時(shí)之后進(jìn)行，為避免人為造成的污染，靜態(tài)測(cè)試時(shí)潔凈室內(nèi)僅限兩人。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)，會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)，對(duì)凈化間的人員活動(dòng)進(jìn)行控制，是有效的途徑和措施。要把凈化間各項(xiàng)規(guī)章制度真正落到實(shí)處，關(guān)鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應(yīng)該針對(duì)凈化間進(jìn)出人員進(jìn)行各項(xiàng)培訓(xùn)。 （1）對(duì)新入職人員進(jìn)行凈化間潔凈知識(shí)培訓(xùn)。

（2）對(duì)操作人員在凈化間操作設(shè)備，搬運(yùn)物料的專項(xiàng)培訓(xùn)。

（3）對(duì)所有進(jìn)出凈化間的人員進(jìn)行衣著穿戴，進(jìn)出制度的培訓(xùn)。

（4）對(duì)所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。

每項(xiàng)培訓(xùn)后，都要組織進(jìn)行培訓(xùn)效果的評(píng)估和考核，使人員在意識(shí)上認(rèn)知：人員是凈化間內(nèi)重要污染源，使大家在行動(dòng)上能恪守相關(guān)的行為準(zhǔn)則，比如：

a. 所有人員必須建立一個(gè)凈化間的概念，必須清楚地了解所有不規(guī)范的行為均有可能產(chǎn)生出廢品，并列舉出正確的凈化間行為規(guī)范及不規(guī)范的行為的種類。

b. 進(jìn)入凈化間時(shí)，必須按正確流程穿戴凈化服、口罩、手套、凈化鞋。更換衣服時(shí)，必須防止干凈的凈化服拖到地面，或者和人員日常的非凈化服裝混放，造成凈化服表面被沾污。

c. 在凈化間中，人員的說(shuō)話、咳嗽、打噴嚏等都會(huì)使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品；在咳嗽或打噴嚏時(shí)，必須將頭從產(chǎn)品處移開(kāi)，打噴嚏后一般都要更換口罩；口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。

凈化空調(diào)系統(tǒng)組合式空調(diào)器安裝：

（1）安裝前應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證，理解安裝說(shuō)明書(shū)，熟悉各功能段的安裝設(shè)置

（2）檢查安裝基礎(chǔ)的強(qiáng)度，坐標(biāo)位置，大小，標(biāo)高及水平度，以減少因傾斜引起的運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲和振動(dòng)。

（3）對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗，擦拭清除塵雜物和油污。檢查送回風(fēng)機(jī)是否有雜物，手動(dòng)旋轉(zhuǎn)葉輪時(shí)是否有異響。

（4）檢查設(shè)備各檢修門是否平整，啟閉是否正常，密封是否脫落，關(guān)門檢查箱體是否有漏光，空調(diào)允許漏風(fēng)率不大于2％。

（5）檢查設(shè)備內(nèi)表冷器是否有明顯損壞，隨機(jī)配套風(fēng)量調(diào)節(jié)是否啟閉正常，對(duì)表冷器碰歪的翅片應(yīng)以校正。

（6）空調(diào)器送回風(fēng)風(fēng)口與風(fēng)管連接處應(yīng)采取柔性連接。

（7）設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查機(jī)內(nèi)初中效過(guò)濾器是否有明顯洞孔，松脫。