空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式

凈化工程：空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過(guò)濾器或亞空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力、效率相近的空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組

潔凈室的冷熱源機(jī)組： 桿式冷水機(jī)組 螺桿式冷水機(jī)組是由螺桿式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個(gè)完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機(jī)組 離心式冷水機(jī)組是由離心式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機(jī)組。離心式冷水機(jī)組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機(jī)容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機(jī)組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國(guó)外已大量建成0.1微米級(jí)的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場(chǎng)建成十級(jí)潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個(gè)1000平方米控制0.1微米塵埃的千級(jí)廠房，換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。美國(guó)在臺(tái)灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。 濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。