自動控制系統(tǒng):包括溫度控制

自動控制系統(tǒng)：包括溫度控制，溫度控制，風(fēng)量風(fēng)壓控制，開啟順序和時間控制;電氣系統(tǒng)：照明，電力和弱電，包括凈化燈，插座，電氣柜，線路，監(jiān)控，電話等強(qiáng)弱系統(tǒng);給排水系統(tǒng)：供水，排水管道，設(shè)施和控制裝置;地面系統(tǒng)：環(huán)氧樹脂通常用于清潔地面。 信封結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡單來說，它是頂部，墻壁和地面，即構(gòu)成三維受限空間的六個面。精美，包括門窗，裝飾弧等;管道系統(tǒng)：包括供氣，回風(fēng)，新風(fēng)，排風(fēng)管，端部和控制裝置;

凈化車間與機(jī)房離隔的區(qū)別

機(jī)房方位 空調(diào)機(jī)房接近需求送風(fēng)量大的凈化車間，力求風(fēng)管的線路。但從避免噪聲和振蕩來說又需求把凈化車間與機(jī)房離隔。這兩方面都予以思考。離隔方法有： 結(jié)構(gòu)別離方法。有以下幾種： (1)沉降縫離隔式。使沉降縫在凈化車間與機(jī)房之間經(jīng)過，起切割效果。 (2)夾壁墻離隔式。假如機(jī)房緊靠凈化車間，不是共用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而雙面隔墻之間留有必定寬度的縫隙。 (3)輔佐室離隔式。在凈化車間與機(jī)房之間設(shè)輔佐室，起緩沖效果。

凈化工程建設(shè)中需考慮從以下問題

凈化工程建設(shè)中需考慮從以下問題：1. 包裝車間潔凈室工程所需要的凈化材料；2. 廠房潔凈室及包裝車間潔凈室工程的設(shè)計、安裝、調(diào)試、維護(hù)等綜合服務(wù)；3. 包裝車間潔凈室工程空調(diào)凈化部分 溫度和相對濕度無菌在無特殊規(guī)定時，通常要求溫度在法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)檢測Standard and Testing18~28 C，濕度在 45%~65%，企業(yè)一般都可以控制在要求內(nèi)。如在動態(tài)監(jiān)測中發(fā)現(xiàn)達(dá)不到要求，可能是室內(nèi)有產(chǎn)熱大的儀器設(shè)備。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達(dá)1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。