管線組織凈化車間的蔭蔽組織方法

管線組織 凈化車間的管線十分復雜，所以對這些管線均選用蔭蔽組織方法。詳細蔭蔽組織方法有以下幾種。 技能夾層 (1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先思考的目標。通常將其組織在夾層的上方，其下組織電氣管線。當這種夾層的底板可接受必定分量時，能夠在上面設置過濾器及排風設備等。 (2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風管道回來上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設回風機動力設備配電等，某層凈化車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。

抓住關鍵,加強工程審計環(huán)節(jié)的控制

抓住關鍵，加強工程審計環(huán)節(jié)的控制凈化工程項目的審計必須對工程項目整個施工生產(chǎn)活動的全過程進行審計,工程項目的審計不僅要重視被審項目的事后審計及竣工審計，更要重視事前和事中審計，事前審計，可使凈化工程項目施工方案的編制更趨合理，并能幫助工程項目管理班子提前“把關”，有效地防止或避免可以預見的失誤。事中審計，即對施工階段中若干個過程所作的審計，對于后階段來講，則為面向未來，又屬事前審計，不過這種事前審計更有針對性、效益性，做好了，能達到事半功倍的效果。