車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè)

車間凈化工程應(yīng)用于生產(chǎn)車間 由于技術(shù)的發(fā)展，對產(chǎn)品的高精度和小型化的需求更加迫切，例如需要清潔生產(chǎn)車間的超大型集成電路的研究和制造。例如，半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要潔凈室，以確保工作環(huán)境中的顆粒和溫度，濕度標準，任何顆粒和溫度和濕度都達不到標準可能會影響制造裝置的性能和可靠性。 車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè) 隨著手術(shù)室凈化項目，術(shù)后率從8.9降至0.26，手術(shù)室凈化已成為醫(yī)院水平的重要指標，特別是在一些大型醫(yī)院，需要凈化手術(shù)室，為移植等困難復(fù)雜的手術(shù)提供合適的空間。

常用的水冷式螺桿式冷水機組

潔凈室的冷熱源機組： 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0.1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。

單向流潔凈室的建造和運行費用要高得多

單向流潔凈室

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。圖1是典型的垂直流潔凈室的剖面圖。從圖中可以看出，由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風。氣流有如一個空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風速，就可以很快將污染物清除。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的范圍里，以便使中斷的單向流能快速恢復(fù)，充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風速可以正確地表示出單向流，因為風速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān)，如吊頂?shù)母叩停虼瞬贿m合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。所以這樣的潔凈室的建造和運行費用要高得多

光學微電子凈化工程凈化參數(shù)

學微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。

溫度45－65%；GMP車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300LX。