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選擇真空泵注意事項:
1、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知旋片真空泵道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
2、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
雙級真空泵,屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域。由兩臺包括泵體及泵體上設(shè)置的吸氣口、排氣口,泵體內(nèi)安裝的帶葉片槽和葉片的轉(zhuǎn)子構(gòu)成的真空泵串聯(lián)連接,真空泵轉(zhuǎn)子上的葉片槽為偏離轉(zhuǎn)子軸心線的斜葉片槽,后級真空泵的吸氣口連接前級泵的排氣口。
雙級羅茨真空泵主要結(jié)構(gòu)及原理:
1、轉(zhuǎn)子:轉(zhuǎn)子為羅茨真空泵的核心部件,設(shè)計加工要求高,經(jīng)數(shù)控機(jī)床加工而成,每臺共四個,裝在對平行的軸上,每根軸上裝配尺寸同,兩個轉(zhuǎn)子;
2、殼體:根據(jù)定的抽速比例,殼體由中大小不-的兩個腔,也即高低真空腔;
3、同步齒輪:齒輪為羅茨真空泵的核心部件之一, 它來保證兩轉(zhuǎn)子的同步旋轉(zhuǎn)及保持轉(zhuǎn)子之間的間隙,齒輪表面經(jīng)高頻淬火,然后由特殊的高精度磨削而成;
4、 被抽氣體從吸氣口先進(jìn)入高真空腔,再通過中壁的氣通進(jìn)入低真空腔,zui后經(jīng)排口進(jìn)入下一真空泵。
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