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線切割設(shè)備
線切割設(shè)備選取的注意事項
1、 張緊裝置是使金剛石線保持適宜的張力,防止張力過大而斷裂,同時避免過小而降低切割效率,甚至脫線。因此張緊機構(gòu)也要具備飛輪一樣的精度,同時要有足夠的穩(wěn)定性及維護性。
2、 進給工作臺的精度直接影響加工精度,因此要根據(jù)用戶的加工要求,配備相應(yīng)精度的工作臺。
3、 控制系統(tǒng)要根據(jù)不同的切割材料、不同的生產(chǎn)量來制訂相應(yīng)控制系統(tǒng),達到適宜的自動化程度;同時設(shè)備具有良好人機操作界面、操作簡便、維護方便、安全性可靠。
?精密切割
精密切割加工是制備半導(dǎo)體和光電晶體基片的主要加工工藝之一,在微電子、光電子器件的制造過程中占有很高的地位。線切割設(shè)備多采用電鍍金剛石線,國內(nèi)的線切割設(shè)備生產(chǎn)廠家眾多,生產(chǎn)能力強,已經(jīng)可以滿足各領(lǐng)域的切割需求。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展,對半導(dǎo)體和光電晶體的切割加工提出更高要求。率、低成本、、窄切縫、小翹曲變形、低表面損傷、低碎片率、無環(huán)境污染等是目前半導(dǎo)體和光電晶體的切割加工的新趨勢。
?電火花線切割
電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。釹鐵硼通俗的講叫磁鐵(也有人叫它吸鐵石)是在常溫下不會削磁的一種磁性材料故也叫永磁鐵。將工件接入脈沖電源正極,采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲,將金屬絲接高頻脈沖電源負極作為工具電極,利用火花放電對加工零件進行切割。脈沖電源提供加工能量,加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑,切割過程中若工件材料過厚時,工作液較難進入和充滿放電間隙,會對加工精度和表面粗糙度造成影響。
而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題,其加工精度和粗糙度都大幅提升
線切割速度
線切割過程中的速度調(diào)整:
若設(shè)置的線切割速度與實際切割速度不匹配容易發(fā)生夾線,進而使金剛石線斷開,切割速度的設(shè)定沒有具體規(guī)定,一般根據(jù)經(jīng)驗選擇。電鍍金剛石長切割線是指采用電鍍的方法將金剛石磨料固結(jié)到金屬基體上形成的切割線,常用基體截面形狀為圓形,一般為0。切割過程中當發(fā)現(xiàn)所選用的速度過大時可進行適當?shù)恼{(diào)整,速度的大小可根據(jù)金剛石線出現(xiàn)弧度的速度進行調(diào)整,若切割過程中金剛石線幾乎一直處于平直狀態(tài),說明所選用的切割速度還可以適當增加,直到調(diào)整到金剛石線的弧度狀態(tài)一直保持不變的,說明所選用的切割速度適于材料的切割