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潔凈室的分類
層流式(Laminar): 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴重??筳un涂料墻面:清理墻面基層,基層刮膩子,面層噴抗jun涂料。 優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
凈化工程潔凈室的復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。 此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。 潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)對產(chǎn)品質(zhì)量的影響室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是影響產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素之一。 (2)潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
凈化工程——潔凈室
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。
(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
凈化潔凈工程
送風(fēng)量、換氣次數(shù)
器械凈化工程-無菌潔凈室工程設(shè)計階段對送風(fēng)量的確定,首先要滿足相應(yīng)潔凈度級別的換氣次數(shù)要求,同時還要通過熱、濕負荷校核來進一步確定風(fēng)量,在此基礎(chǔ)上對gao效過濾器進行選用。1、亂流潔凈室總送風(fēng)量的10%~30%,層流潔凈室總送風(fēng)量的2~4%。過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量,設(shè)置在同一潔凈區(qū)內(nèi)的gao效 ( 亞gao效、超gao效 ) 空氣過濾器的阻力、效率宜接近。
通常潔凈室的送風(fēng)量,應(yīng)取以下 3 項中的大值 :為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量 ;凈化工程墻面:手術(shù)室電解鋼墻面:采用型鋼龍骨骨架,面層安裝1。根據(jù)熱、濕負荷計算確定的送風(fēng)量 ;向潔凈室nei供給的新鮮空氣量。而新鮮空氣量應(yīng)取下列 2 項中的大值 :補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和 ;保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3。