復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟的。

     潔凈廠房無塵室測試目的是什么呢?其中很大部分業(yè)主都是根據(jù)凈化工程開始的設(shè)想來完成測試的指標，當(dāng)然這是直截了當(dāng)?shù)哪繕思胺椒ǎ吘刮覀冊诮ㄔO(shè)無塵室的意愿也是如此，要達到我們的空氣潔凈度有需求。在單流向型無塵室，風(fēng)速測量的位置可由業(yè)主預(yù)定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量（濾網(wǎng)表面）或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量（工作高度）。潔凈廠房，無塵室，潔凈室--潔凈廠房無塵室測試目的。人⑷無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量1:7~1:14⑸發(fā)菌量：發(fā)塵量1:500~1:1000據(jù)國內(nèi)事例：⑹手術(shù)中人員發(fā)菌量878個/min。

    無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。

    無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：不發(fā)生在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

    除了人員進出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學(xué)品，以增強去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。