流量控制器的控制響應(yīng)速度

物理時(shí)間常數(shù)

物理時(shí)間常數(shù)用希臘字母Tau來(lái)表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來(lái)描述響應(yīng)時(shí)間的標(biāo)準(zhǔn)之一，即：控制器到達(dá)設(shè)定值某個(gè)百分比所需要的時(shí)間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對(duì)數(shù)底數(shù)的無(wú)理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。BS7405建議對(duì)于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí)，需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。雖然該定義是一個(gè)物理標(biāo)準(zhǔn)，可能說(shuō)明不了什么問(wèn)題，因?yàn)橛嘞碌脑O(shè)定值的36.8%所花費(fèi)的時(shí)間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達(dá)了設(shè)定值的63.2%。

任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域

不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度，比如：從設(shè)定值的10%到達(dá)90%所需要的時(shí)間。由于和后的 10%控制響應(yīng)曲線變化，由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無(wú)法與實(shí)際的控制性能等同。二、溫度影響用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮。如下圖所示，ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達(dá)設(shè)定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設(shè)定值10%到達(dá)90%所用的時(shí)間來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度的話，那么結(jié)論是6~7毫秒。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí)，通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時(shí)，能保持通過(guò)流量控制器的流量恒定不變。4毫秒到達(dá)設(shè)定值，從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。

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流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示?？梢缘臏y(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

買(mǎi)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器時(shí)，還需要買(mǎi)其它配套產(chǎn)品嗎？

一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進(jìn)行流量顯示，對(duì)MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀。

另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購(gòu)截止閥﹑過(guò)濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。