烘箱選型依據(jù)及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內(nèi)的均勻性、 溫控系統(tǒng)也是要求較高。保溫層則由高密度硅酸鋁棉填充，高密度硅酸鋁棉保證了烘箱的保溫性，也確保了使用者的安全性。 烘箱的生產(chǎn)廠家國內(nèi)和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度考慮， 則把國內(nèi)生產(chǎn)的烘箱放在首 位， 因為不論是售后服務(wù)還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產(chǎn)生的顆粒度。

烘箱的工作原理

箱體的溫度控制采用了智能電腦溫控和PLC自控系統(tǒng)，溫度信號的采集用鉑電阻，經(jīng)溫度控制器的放大與設(shè)定值進行比較得到PID控制信號，同時PLC程控器輸出控制信號控制固態(tài)繼電器SSR導(dǎo)通，固態(tài)繼電器再控制加熱器加熱，使箱體處于升溫除濕階段。隧道烘箱又叫流水線烘箱，一般是通過加熱方式進行烘干的，沒有真空烘干方式，跟流水線似的，一般可以連續(xù)工作。當(dāng)溫度達到設(shè)定值時，溫控儀輸出PID控制信號PLC，PLC輸出控制信號給時間繼電器KT，使其開始保溫計時，同時，關(guān)閉進風(fēng)機和排風(fēng)碟閥。