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R1R2R3基團可以是不同的烴基基團，因此可組合成多樣的硅醚。硅醚化合物在保護基化學當中有非常廣泛的應用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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精餾：將合格的液體投入精餾塔釜內(nèi)，在≤92℃塔內(nèi)采出三甲基一氯硅烷，然后降溫采出產(chǎn)品三甲基硅咪唑。本工藝使反應在常溫即可進行，且使體系中的氯化氫濃度降低幾乎達到零含量，避免了反應因氯化氫抑制反應的發(fā)生。

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六甲基二硅氧烷，這是一種無色透明液體，容易潮解，所以應該避免接觸潮濕環(huán)境，應當儲存在干燥通風的環(huán)境下。易燃所以要避免接觸高熱的環(huán)境，以防發(fā)生燃燒。它幾乎不溶于水，但溶于其他多種?；瘜W性質(zhì)穩(wěn)定，可以做硅油、藥品等基礎(chǔ)原料。

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