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浙江美兆-凈化車間——實(shí)驗(yàn)室凈化車間裝修建設(shè)
因此在凈化車間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。 實(shí)驗(yàn)室凈化車間裝修建設(shè)
國(guó)內(nèi)現(xiàn)有防排煙模式分析國(guó)內(nèi)目前現(xiàn)有之凈化車間煙控模式共有四種。其中,煙控設(shè)計(jì)原理,就是利用在凈化車間下層回風(fēng)區(qū)的一般排氣風(fēng)管,在其上安裝閘門(mén),平時(shí)此閘門(mén)為關(guān)閉狀態(tài),以維持一般排氣的運(yùn)作,若遇上凈化車間或凈化車間下層回風(fēng)區(qū)發(fā)生火災(zāi)時(shí),則打開(kāi)閘門(mén)以進(jìn)行排煙。 實(shí)驗(yàn)室凈化車間裝修建設(shè)
一般而言,此類設(shè)計(jì)模式常見(jiàn)于老舊廠房的凈化車間中,主要是因?yàn)閺那暗陌雽?dǎo)體廠在建立時(shí)極i少會(huì)考慮到煙控系統(tǒng),后來(lái)因?yàn)樾枰?,只好在一般排氣風(fēng)管上開(kāi)洞,在加裝控制閘門(mén)后做為排煙之用,如此對(duì)原來(lái)的設(shè)備及廠務(wù)系統(tǒng)影響少。 實(shí)驗(yàn)室凈化車間裝修建設(shè)
十萬(wàn)級(jí)潔凈凈化車間選用處理工藝措以下:?
1、空調(diào)機(jī)組務(wù)必歷經(jīng)初效、中效過(guò)濾器、高i效率三級(jí)過(guò)慮解決的空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件。確保送進(jìn)房間內(nèi)的氣體是清潔氣體,能對(duì)房間內(nèi)空氣的污染開(kāi)展稀釋液。2、房間內(nèi)確保一定工作壓力,避免潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量受外部氣體影響。一般潔凈工程凈化室規(guī)定房間內(nèi)與戶外的壓誤差為5-10Pa。3、工程建筑排架結(jié)構(gòu)務(wù)必確保密封性優(yōu)良,工程建筑表層光潔,不產(chǎn)塵、不積塵、不泄漏。GMP工業(yè)廠房一般有千級(jí),十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí),在其中以十萬(wàn)級(jí)(罐裝,包裝)及三十萬(wàn)級(jí)數(shù)多,十萬(wàn)級(jí)較三十萬(wàn)級(jí)潔凈度等級(jí)環(huán)境衛(wèi)生要嚴(yán)苛許多。
實(shí)驗(yàn)室凈化車間裝修建設(shè)