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石墨板在工業(yè)生產(chǎn)中被廣泛應(yīng)用,潤滑劑用于機(jī)械制造行業(yè),制作電極和鉛筆芯;廣泛用于冶金工業(yè)的耐火材料與涂料、軍事工業(yè)火工材料安定劑、輕工業(yè)的鉛筆芯、電氣工業(yè)的碳刷、電池工業(yè)的電極、化肥工業(yè)催化劑等。鱗片石墨經(jīng)過深加工,又可生產(chǎn)出石墨乳、石墨密封材料與復(fù)合材料、石墨制品、石墨減磨添加劑等高新技術(shù)產(chǎn)品,成為各個工業(yè)部門的重要非金屬礦物原料。
石墨板的用途就是在半導(dǎo)體領(lǐng)域中,但是在太陽能電池、傳感器方面、納米電子學(xué)、納電子器件、復(fù)合材料、場發(fā)射材料等領(lǐng)域應(yīng)用也是非常廣泛的。
石墨板不再是我們以前簡單的認(rèn)識--只做電極。如今石墨在工業(yè)中占有的重要地位也是有目共睹。
卸出石墨舟后的石墨化爐,先將石墨化冶金焦取出來,并用鐵棍砸碎已結(jié)成硬塊的爐底料(每次約有100-200毫米厚),取出廢爐底料并另換新料。立裝法的爐子兩側(cè)保溫料,如沒有倒塌而又絕緣狀況較好,可以重復(fù)利用,但應(yīng)將表面沾有石墨粉的部份鏟去。
爐子的使用壽命與操作和維護(hù)有著密切的關(guān)系。使用與維護(hù)得好的右墨化爐可以連續(xù)生產(chǎn)兩年之久;使用與維護(hù)不好,有可能只生產(chǎn)幾爐就毀壞。
PE鍍膜后四周發(fā)白淺析,近期經(jīng)常接到客戶咨詢,石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題,用了循環(huán)后,清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。
這次就問題發(fā)生的原因做一個說明,并且給大家一些解決方法。
一般來說我們機(jī)臺出現(xiàn)問題基本上為三類,偏紅,正常藍(lán),偏白(對應(yīng)表中的淡藍(lán)色,無明確的白色膜厚,此時的白色部分膜厚接近90左右)
硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色,通過一定的化學(xué)反應(yīng)在片子表面生成一層膜。片子工藝結(jié)束后,就會得到我們需要的工藝顏色。