熱分解工藝一般分為直燃(TO)、蓄熱燃燒(RTO)、催化燃燒(CO)、蓄熱催化燃燒(RCO)4種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩不同組合，主要可以用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度＞3.5g/m3的中高濃度廢氣。

1. CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機(jī)物與O2的反應(yīng)活化能，使得有機(jī)物可以在250～350℃較低的溫度就能充分氧化生成CO2和H2O，屬無焰燃燒，高溫氧化氣通過換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，熱量利用率一般≤75%，常用于處理吸附劑再生脫附出來的高濃廢氣。

2. RCO燃燒方式與CO相同，換熱方式與RTO相同，由于投資堪比RTO，能處理的廢氣種類受催化劑影響又比RTO少，所以很少企業(yè)采用RCO工藝。熱分解以RTO和CO的應(yīng)用例子較多，如果用于處理吸附脫附的濃縮氣，兩者差別不大，但若直接處理中高濃度廢氣時(shí)有很大區(qū)別，需要企業(yè)認(rèn)真對(duì)待。

和光催化燃燒系統(tǒng)的空氣處理設(shè)備,反應(yīng)空速通常指體積空速(GHSV),它反映了催化劑的處理能力:反應(yīng)空速指的是處理的氣體量的催化劑在條件下單位時(shí)間內(nèi)單位體積,單位是立方米/ (m3催化劑?h),可以簡(jiǎn)化為h。

廢氣處理設(shè)備中催化劑的性能與的含量、粒徑和分散度有關(guān)。在理想狀態(tài)下，高度分散。在這種情況下，以非常小的顆粒(幾納米)的載體存在，被蕞大限度的利用。此時(shí)，催化劑的處理能力與的含量呈正相關(guān)。

廢氣處理催化燃燒設(shè)備RCO主要由活性炭吸附箱、阻火器、熱交換器、催化反應(yīng)床，風(fēng)機(jī)這幾個(gè)主要部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。通常催化燃燒設(shè)備在選型時(shí)，要注明廢氣的成份、濃度及出口溫度，設(shè)備安裝場(chǎng)所無腐蝕性氣體，并且要有良好的防雨措施等。

催化燃燒用的是表面具有和金屬氧化物的催化劑，將有機(jī)污染物的廢氣在催化劑鉑、鈀的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有機(jī)污染物氧化成二氧化碳和水。催化劑的加入并不能改變?cè)械幕瘜W(xué)平衡，所改變的僅是化學(xué)反應(yīng)的速度，而在反應(yīng)前后催化劑本身的性質(zhì)并不發(fā)生變化。