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發(fā)布時間:2020-11-05 12:01  
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視頻作者:深圳銳誠真空技術有限公司







用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原

選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。

3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。

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氦檢漏設備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷,外部大氣通過這些缺陷進入系統(tǒng)內(nèi)部,致使系統(tǒng)、容器或器件達不到預期的真空度,這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復雜,無法用幾何尺寸表示,因此在真空技術中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量,其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術,相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置,以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。


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高壓開關檢漏——氦質(zhì)譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質(zhì),產(chǎn)品要求開關內(nèi)部的SF6氣體泄漏量要小,也就是要很好的密封性。所以再生產(chǎn)過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏,高壓電器采用的氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜法比較方便,易操作,檢漏效果也得到認同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法,由于靈敏度低,難免發(fā)生泄漏和誤檢,使總裝后的產(chǎn)品氣密性達不到要求,導致返工,不但浪費了人力物力,也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質(zhì)譜檢漏儀彌補了傳統(tǒng)檢漏的不做,同時可以檢漏漏點和漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的:

1.對于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調(diào)到漏率(10-11Pa.m3/s),然后對氦罩沖氦,同時觀察漏率顯示,一大增大,就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件,采用背壓發(fā),按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦(含量30%)-氮混合氣體,然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下,關掉抽氣閥,打開檢漏閥,進行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝,采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體,利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技企業(yè)。自成立以來嚴格執(zhí)行產(chǎn)品國際標準、及行業(yè)標準,應用現(xiàn)代經(jīng)營理念與管理手段,擁有強大的技術支持和先進的生產(chǎn)與檢測設備,精心制造出穩(wěn)定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產(chǎn)品。

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