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1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對潔凈室的要求越來越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"要說凈化工程在發(fā)展的前景方面,形勢還是非常好的,市場需求更是一片大好。因?yàn)槲覀儑业闹扑?、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展,所以對凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的醫(yī)方面的改條文GMP-2010發(fā)布之后,既推動了生物醫(yī)和食品化工行業(yè)的發(fā)展,也間接的推動了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機(jī)遇推到了非常好。
100級:是常用的凈化工程,除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求,對空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中,包括實(shí)驗(yàn)動物飼養(yǎng)環(huán)境。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無塵操作。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展,這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的,現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可,在我們國家,這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā),相信在不久的未來,我們國家的相關(guān)科研人員一定會在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。
設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。