無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。材料采購后運輸過程中還應(yīng)注意保持完好的包裝,防潮,防撞擊,防污染。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

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無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。凈化工程行業(yè)開始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩(wěn)定性的雙向驗收標(biāo)準(zhǔn)，并逐步以實地檢測數(shù)據(jù)（之前多依靠行業(yè)報告）更真實的體現(xiàn)工程性價比。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。