超精密加工技術(shù)不斷更新，加工精度不斷提高，各國之間的研究側(cè)重點(diǎn)有所不同，但促進(jìn)超精密加工發(fā)展的因素在本質(zhì)上是相同的。加工變質(zhì)層的化學(xué)性質(zhì)活潑，易受腐蝕，所以從提高零件耐腐蝕能力的角度出發(fā)，要求加工產(chǎn)生的變質(zhì)層盡量小。加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差都應(yīng)控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制等各種先進(jìn)技術(shù)獲得的。

模具零件加工工藝一般都是采用以下方法：  1、幾何形狀精度 軸頸的幾何形狀精度（圓度、圓柱度） ，一般應(yīng)限制在直徑公差點(diǎn)范圍內(nèi)。 對幾何形狀精度要求較高時，可在零件圖上另行規(guī)定其允許的公差。  2、表面粗糙度 根據(jù)零件的表面工作部位的不同，可有不同的表面粗糙度值，例如普通 機(jī)床主軸支承軸頸的表面粗糙度為 Ra0.160.63um，配合軸頸的表面粗糙度為 Ra0.632.5um，隨著機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)速度的增大和精密程度的提高，軸類零件表面粗 糙度值要求也將越來越小  

精密零件加工。工藝系統(tǒng)受力變形產(chǎn)生的誤差。

一是工件剛度.工藝系統(tǒng)中如果工件剛度相對于機(jī)床、刀具、夾具來說比較低,在切削力的作用下,工件由于剛度不足而引起的變形對加工精度的影響就比較大。

二是刀具剛度。外圓車刀在加工表面法線方向上的剛度很大,其變形可以忽略不計(jì).鏜直徑較小的內(nèi)孔,刀桿剛度很差,刀桿受力變形對孔加工精度就有很大影響。

三是機(jī)床部件剛度。機(jī)床部件由許多零件組成,機(jī)床部件剛度迄今尚無合適的簡易計(jì)算方法,目前主要還是用實(shí)驗(yàn)方法來機(jī)床部件剛度。