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在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)i菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),
而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。
使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。
半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。
對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,這種措施為有效。
凈化車間
供水與排水設(shè)施: 凈化車間內(nèi)生產(chǎn)用水的供水管應(yīng)采用不易生銹的管材,供水方向應(yīng)逆加工進(jìn)程方向,即由清潔區(qū)向非清潔區(qū)流。凈化車間內(nèi)的供水管路應(yīng)盡量統(tǒng)一走向,冷水管要避免從操作臺(tái)上方通過(guò),以免冷凝水凝集滴落到產(chǎn)品上。為了防止水管外不潔的水被虹吸和倒流入管路內(nèi),須在水管適當(dāng)?shù)奈恢冒惭b真空消除器。凈化車間的排水溝應(yīng)該用表面光滑,不滲水的材料鋪砌,施工時(shí)不得出現(xiàn)凹凸不平和裂縫,并形成3%的傾斜度,以保證車間排水的通暢,排水的方向也是從清潔區(qū)向非清潔區(qū)方向排放。排水溝上應(yīng)加不生銹材料制成活動(dòng)的蓖子。車間排水的地漏要有防固形物進(jìn)入的措施,畜禽加工廠的浸燙打毛間應(yīng)采用明溝,以便于清除羽毛和污水。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。排水溝的出口要有防鼠網(wǎng)罩,凈化車間的地漏或排水溝的出口應(yīng)使用U 型或P型,S 型等有存水彎的水封,以便防蟲(chóng)防臭。