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我國主要八家凈化設備廠銷售額1990年為8217萬元
據(jù)中國電子設備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計,我國主要八家凈化設備廠的銷售額1990年為8217萬元,還不足1億,1993年達到14495萬元,占國際市場銷售額的0.34%。但隨著我國高新技術的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、工業(yè)的發(fā)展,我國潛在的巨大的潔凈技術產品市場,以每年40%~50%的增長速度在增加。因此在未來,潔凈市場的蛋糕是巨大的。
潔凈技術方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術成為潔凈工程設計與施工建設的主流趨勢。目前,國內的潔凈工程企業(yè)中已經開始從事此方向的研究,在該領域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術方面該公司已經走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設計院則在防微震方面。
凈化車間工程可分為空氣凈化與水凈化
凈化車間工程可分為空氣凈化與水凈化,空氣凈化是在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
凈化室天棚要求及密封膠處理好
凈化室天棚要求 凈化室天棚距頂棚有一定高度。一般高度為1.8米左右,便于檢修,便于安裝照明設備。凈化室天棚,是凈化室安裝工程量部分,也是難施工部分。無論多大的凈化室天棚,安裝完畢看上去應為一個整體,看不出有接縫,水平高度一致。天棚必須吊裝牢固,不能由于溫度變化產生移動,凈化室多數(shù)情況下為正氣壓,即室內氣壓高于室外氣壓。這對于面積較大的凈化室天棚會產生一定的壓力,使棚頂出現(xiàn)微小縫隙,影響凈化效果。要解決這個問題,在施工時,棚頂所有接縫周邊必須用密封膠處理好。密封膠必須使用防霉變密封膠。